Yuji Saito: "Improvement of MOSFET Subthreshold Leakage Current by its Irradiation with Hydrogen Radicals Generated in Microwave-Excited High-Density Inert Gas Plasma"2001 IEEE international reliability physics symposium. 47・11. 319-326 (2001)
Yuji Saito: "Improvement of MOSFET Subthreshold Leakage Current by its Irradiation with Hydrogen Radicals Generated in Microwave-Excited High-Density Inert Gas Plasma"2001 IEEE international reliability physics symposium. 47・11. 319-326 (2001)
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Yuji Saito：“通过微波激发高密度惰性气体等离子体中产生的氢自由基来改善 MOSFET 亚阈值漏电流”2001 IEEE 国际可靠性物理研讨会 47・11。
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