An AlOx/TiOy nanolaminate on hydrogenated diamond for metal-oxide-semiconductor electronic devices.

An AlOx/TiOy nanolaminate on hydrogenated diamond for metal-oxide-semiconductor electronic devices.
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用于金属氧化物半导体电子器件的氢化金刚石上的 AlOx/TiOy 纳米层压材料。

DOI:
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发表时间:
2021
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
小出 康夫
小出 康夫
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
劉 江偉;Orlando Auciello;Elida de Obaldia;達 博;小出 康夫

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