Growth of AlN films on SiC substrates by RF-MBE and RF-MEE
Growth of AlN films on SiC substrates by RF-MBE and RF-MEE
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通过 RF-MBE 和 RF-MEE 在 SiC 衬底上生长 AlN 薄膜
DOI：
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发表时间：
2001
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y. Nanishi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
N. Teraguchi;A. Suzuki;Y. Saito;T. Yamaguchi;T. Araki;Y. Nanishi
