Observation of chemisorbed O2 molecules at SiO2/Si(001) interface during Si dry oxidation
Observation of chemisorbed O2 molecules at SiO2/Si(001) interface during Si dry oxidation
复制标题
Si干氧化过程中SiO2/Si(001)界面化学吸附O2分子的观察
DOI：
--
复制
发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Y. Takakuwa
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Y. Tsuda;A. Yoshigoe;S. Ogawa;T. Sakamoto;Y. Takakuwa
