T.Nakamura, E.Kamijo: "Synthesis of DLC Films by ECR Sputtering Method." J.of Vacuum Soc.of Jpn.Vol.38. 354-357 (1995)
T.Nakamura, E.Kamijo: "Synthesis of DLC Films by ECR Sputtering Method." J.of Vacuum Soc.of Jpn.Vol.38. 354-357 (1995)
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T.Nakamura、E.Kamijo：“采用 ECR 溅射法合成 DLC 薄膜”。
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