水素雰囲気異方性熱エッチング（HEATE）法によるGaNナノホールの加工特性
水素雰囲気異方性熱エッチング（HEATE）法によるGaNナノホールの加工特性
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氢气氛各向异性热刻蚀（HEATE）法GaN纳米孔的加工特性
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
本多卓人，米田幸司，相川健喜，倉邉海史，菊池昭彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
野田泰斗;栗原拓也;竹腰清乃理;本多卓人，米田幸司，相川健喜，倉邉海史，菊池昭彦
