D. Kamiya, T. Hayama, M. Horie: "electrostatic Comb-Drive Actuators made of Polyimide for Actuating Micromotion Convert Mechanisms"Microsystems Technologies. Vol 5, Issue 4. 161-165 (1999)
D. Kamiya, T. Hayama, M. Horie: "electrostatic Comb-Drive Actuators made of Polyimide for Actuating Micromotion Convert Mechanisms"Microsystems Technologies. Vol 5, Issue 4. 161-165 (1999)
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D. Kamiya、T. Hayama、M. Horie：“由聚酰亚胺制成的静电梳状驱动致动器，用于驱动微动转换机构”Microsystems Technologies。
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