PZT薄膜の最適化による自己検知圧電MEMSカンチレバーの出力電圧向上
PZT薄膜の最適化による自己検知圧電MEMSカンチレバーの出力電圧向上
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通过优化PZT薄膜提高自感知压电MEMS悬臂梁的输出电压
DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
前田 龍太郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
小林 健;小山 昌二;牧本 なつみ;舟窪 浩;前田 龍太郎
