Production of Periodic Plasma Structure by 400 kHz Capacitively Coupled Discharge
Production of Periodic Plasma Structure by 400 kHz Capacitively Coupled Discharge
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通过 400 kHz 电容耦合放电产生周期性等离子体结构
DOI：
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发表时间：
2013
影响因子：
0.9
通讯作者：
Kazuaki Miyamoto and Kazunori Takahashi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Satoh;T.;Watanabe;K.;Yamamoto;H.,Yamamoto;S.;Kurosawa;N.;Kazuaki Miyamoto and Kazunori Takahashi
