Imaging scatterometer for observing in situ changes to optical coatings during air annealing
Imaging scatterometer for observing in situ changes to optical coatings during air annealing
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成像散射仪用于观察空气退火过程中光学涂层的原位变化
DOI：
10.1364/ao.476979
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
1.9
通讯作者：
Smith, Joshua R.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Rezac, Michael;Martinez, Daniel;Gleckl, Amy;Smith, Joshua R.
