Submicron structures created on metal thin films by submicron focusing of femtosecond EUV light pulses
Submicron structures created on metal thin films by submicron focusing of femtosecond EUV light pulses
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通过飞秒 EUV 光脉冲的亚微米聚焦在金属薄膜上创建亚微米结构
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Yamanouchi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A. Ansai;H. Motoyama;A. Iwasaki;H. Mimura;K. Yamanouchi
