節原裕一,三宅正司,坂和洋一,庄司多津男: "低インダクタンス内部アンテナを用いた大口径誘導結合RFプラズマ生成"電気学会プラズマ研究会資料PST-00-4. 13-16 (2000)
節原裕一,三宅正司,坂和洋一,庄司多津男: "低インダクタンス内部アンテナを用いた大口径誘導結合RFプラズマ生成"電気学会プラズマ研究会資料PST-00-4. 13-16 (2000)
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Yuichi Setsuhara、Masashi Miyake、Yoichi Sakawa、Tatsuo Shoji：“使用低电感内部天线产生大直径感应耦合射频等离子体”日本电气工程师学会等离子体研究组材料 PST-00-4（2000 年） ）
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