Microstructure and properties of AlN/SiOx nanocomposite films preparedby differential pumping co-sputtering system
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差动泵浦共溅射系统制备AlN/SiOx纳米复合薄膜的微观结构与性能
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M. Nose
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Sato;H. Takabatake;T. Kawabata;K.Matsuda;W-A. Chiou;M. Shiojiri;M. Nose
