A.Matsutami: "Measurement of Sidewall Roughness of InP Etched by Reactive Ion Beam Etching" Japanease Journal of Applied Physics. 33. 6737-6738 (1994)
A.Matsutami: "Measurement of Sidewall Roughness of InP Etched by Reactive Ion Beam Etching" Japanease Journal of Applied Physics. 33. 6737-6738 (1994)
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A.Matsutami：“通过反应离子束蚀刻测量 InP 的侧壁粗糙度”日本应用物理学杂志。
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