菊地直人,草野英二 他: "組成変調したTiN-Ti多層構造薄膜の構造と硬さ及び内部応力"真空. 42. 429 (1999)
菊地直人,草野英二 他: "組成変調したTiN-Ti多層構造薄膜の構造と硬さ及び内部応力"真空. 42. 429 (1999)
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Naoto Kikuchi、Eiji Kusano 等人：“成分调制的 TiN-Ti 多层薄膜的结构、硬度和内应力”，真空。 42. 429 (1999)
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