Simulation of RF Plasma Production by FEM
Simulation of RF Plasma Production by FEM
复制标题
通过 FEM 模拟射频等离子体产生
DOI：
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
A.Fukuyama
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H.Kobayashi;A.Fukuyama
