An Optically flat micromirror using stretched membrane with crystallization-induced stress

An Optically flat micromirror using stretched membrane with crystallization-induced stress
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使用具有结晶诱导应力的拉伸膜的光学平面微镜

DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
Journal of Optics A : Pure and Applied Optics Vol.10
影响因子：
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通讯作者：
Hideo Miura
Hideo Miura
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Minoru Sasaki;Takashi Sasaki;Kazuhiro Hane;Hideo Miura

文献摘要

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