福田 永: "ギガビットULSIに向けた極薄シリコン酸窒化膜" 電子情報通信学会論文誌 C-II. J82・C-II,No2. 49-55 (1999)
福田 永: "ギガビットULSIに向けた極薄シリコン酸窒化膜" 電子情報通信学会論文誌 C-II. J82・C-II,No2. 49-55 (1999)
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Ei Fukuda:“用于千兆位 ULSI 的超薄氮氧化硅膜”,电子信息通信工程师协会学报 C-II J82・C-II,第 2 期 49-55(1999 年)。
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