植松真司, 影島博之, 白石賢二: "Interfacial silicon emission in dry oxidation -the effect of H and Cl"Japanese Journal of Applied Physics Part I. 41・4B. 2455-2458 (2002)

植松真司, 影島博之, 白石賢二: "Interfacial silicon emission in dry oxidation -the effect of H and Cl"Japanese Journal of Applied Physics Part I. 41・4B. 2455-2458 (2002)
复制标题

Shinji Uematsu、Hiroyuki Kageshima、Kenji Shiraishi:“干氧化中的界面硅发射 - H 和 Cl 的影响”日本应用物理杂志第 I. 41・4B (2002)。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献