廃棄シリカ系ガラスからリサイクルしたSiOF薄膜のTOデバイスの特性
廃棄シリカ系ガラスからリサイクルしたSiOF薄膜のTOデバイスの特性
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废硅基玻璃回收的SiOF薄膜制成的TO器件特性
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
本間哲哉
中科院分区：
文献类型：
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作者：
山口大輔;佐々木秀光;三浦泰祐;奈良賢;西村優;菅原美智瑠;本間哲哉
