二硫化モリブデンスパッタ膜の性状に及ぼすアルゴン分圧の影響
二硫化モリブデンスパッタ膜の性状に及ぼすアルゴン分圧の影響
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氩分压对二硫化钼溅射薄膜性能的影响
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
兼田〓宏
中科院分区：
文献类型：
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作者：
砂原賢治;池田満昭;村岡善之;松田健次;兼田〓宏
