反応性RFマグネトロンスパッタ装置を用いてアルミ薄膜上に堆積させた酸化亜鉛・酸化ニオブナノアイランドの電気化学的特性

反応性RFマグネトロンスパッタ装置を用いてアルミ薄膜上に堆積させた酸化亜鉛・酸化ニオブナノアイランドの電気化学的特性
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使用反应射频磁控溅射设备沉积在铝薄膜上的氧化锌和氧化铌纳米岛的电化学性能

DOI:
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发表时间:
2014
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
桟敷剛,紅野安彦,難波徳郎,岡野寛
桟敷剛,紅野安彦,難波徳郎,岡野寛
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
松下 裕司;吉村 武;藤村 紀文;與田将士,鶴岡拓郎,桟敷剛,岡野寛;桟敷剛,紅野安彦,難波徳郎,岡野寛

文献摘要

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