RF Voltage Division of in RF-biased High-density Plasma with Floating Liner
RF Voltage Division of in RF-biased High-density Plasma with Floating Liner
复制标题
具有浮动衬里的射频偏置高密度等离子体中的射频电压划分
DOI：
--
复制
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Hirotaka Toyoda
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Yukinori Chiba;Manabu Kyuzo;Haruka Suzuki;Hirotaka Toyoda
