Effect of Marangoni flow in cleaning and drying process of semiconductor
Effect of Marangoni flow in cleaning and drying process of semiconductor
复制标题
马兰戈尼流在半导体清洗和干燥过程中的作用
DOI：
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Akihito.Katayama
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Junji.Kamosida;Yasuharu.Miyamoto;Akihito.Katayama
