H.Ueno, M.Hosaka, Y.Zhang, O.Tabata, S.Konishi and S.Sugiyama: "Study on Fabrication of High Aspect Ratio Microparts Using the LIGA Process" Proceeding of the 1997 International Symposium on Micromechatronics and Human Science. 49-54 (1997)
H.Ueno, M.Hosaka, Y.Zhang, O.Tabata, S.Konishi and S.Sugiyama: "Study on Fabrication of High Aspect Ratio Microparts Using the LIGA Process" Proceeding of the 1997 International Symposium on Micromechatronics and Human Science. 49-54 (1997)
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H.Ueno、M.Hosaka、Y.Zhang、O.Tabata、S.Konishi 和 S.Sugiyama:“使用 LIGA 工艺制造高纵横比微型零件的研究”1997 年国际微机电一体化和人类科学研讨会论文集。
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