Polarity Control of (0001) Oriented AlN Films by Si Doping and Applications to Polarity Inverted SiAlN/AlN Film Bulk Acoustic Wave Resonators
Polarity Control of (0001) Oriented AlN Films by Si Doping and Applications to Polarity Inverted SiAlN/AlN Film Bulk Acoustic Wave Resonators
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Si掺杂对(0001)取向AlN薄膜的极性控制及其在极性反转SiAlN/AlN薄膜体声波谐振器中的应用
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kakio Shoji
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Jun Sekimoto;Suzuki Masashi;Kakio Shoji
用于压电 MEMS 器件的氮化铝锗薄膜
DOI：
10.1109/transducers.2017.7994440
发表时间：
2017
期刊：
2017 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS)
影响因子：
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作者：
T. Mizuno;K. Umeda;Y. Aida;A. Honda;M. Akiyama;T. Nagase;M. Kobayashi
通讯作者：
M. Kobayashi