高機能光マイクロシステム・センサを実現する低温接合技術
高機能光マイクロシステム・センサを実現する低温接合技術
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实现高性能光学微系统和传感器的低温接合技术
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
日暮栄治
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A. Yamamoto;S. Sugino;J. Shimoyama;K. Kishio;A. Ishihara;T. Akasaka;M. Tomita;日暮栄治
