Real-time spectroscopic ellipsometry for III–V surface modifications Hydrogen passivation, oxidation and nitridation by plasma processing
Real-time spectroscopic ellipsometry for III–V surface modifications Hydrogen passivation, oxidation and nitridation by plasma processing
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用于 III-V 族表面修饰的实时光谱椭偏仪 通过等离子体处理进行氢钝化、氧化和氮化
DOI：
10.1016/s0042-207x(00)00127-5
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发表时间：
2000
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M. Losurdo
中科院分区：
文献类型：
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作者：
G. Bruno;P. Capezzuto;M. Losurdo
