リモート水素プラズマ支援によるSiO2上へのFeシリサイドドットの高密度形成
リモート水素プラズマ支援によるSiO2上へのFeシリサイドドットの高密度形成
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利用远程氢等离子体支持在 SiO2 上高密度形成硅化铁点
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
宮崎誠一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
張海;牧原克典;大田晃生;池田弥央;宮崎誠一
