アモルファス炭素膜の熱分解挙動と構造変化の均一性
アモルファス炭素膜の熱分解挙動と構造変化の均一性
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非晶碳薄膜的热分解行为和结构变化的均匀性
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大竹 尚登
中科院分区：
文献类型：
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作者：
赤坂 大樹;Sarayut Tunmee;Chanan Euaruksakun;Ukit Rittihong;Ratchadaporn Supruangnet,平田 祐樹;大竹 尚登
