薄膜ハンドブック(第2版),1.2スパッタリング,1.2.1はじめに
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薄膜手册（第二版），1.2 溅射，1.2.1 简介
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
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通讯作者：
他執筆者332名
中科院分区：
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作者：
森本章治;他執筆者332名
