Shigeo FUKADA: "Ultra-precision Positioning with Nanometric Resolution Using Leadscrew Mechanism"Proc. 0 of the 1st International euspen Conference. 56-59 (1999)
Shigeo FUKADA: "Ultra-precision Positioning with Nanometric Resolution Using Leadscrew Mechanism"Proc. 0 of the 1st International euspen Conference. 56-59 (1999)
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Shigeo FUKADA：“使用导螺杆机构实现纳米级分辨率的超精密定位”Proc。
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