Akira Kawai, Norio Moriike: "Adhesion and Cohesion Analysis of ArF/SOR Resist Patterns with Microtip of Atomic Force Microscope (AFM)"J.Photopolymer Science. and Technology. 14(in press). (2001)
Akira Kawai, Norio Moriike: "Adhesion and Cohesion Analysis of ArF/SOR Resist Patterns with Microtip of Atomic Force Microscope (AFM)"J.Photopolymer Science. and Technology. 14(in press). (2001)
复制标题
Akira Kawai、Norio Moriike：“利用原子力显微镜 (AFM) 微尖对 ArF/SOR 抗蚀剂图案进行粘附和内聚分析”J.Photopolymer Science。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
