半密閉空間を有する光導波型微気圧センサにおける周波数特性の体積依存性
半密閉空間を有する光導波型微気圧センサにおける周波数特性の体積依存性
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半封闭空间光波导微压力传感器频率特性的体积依赖性
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大河正志
中科院分区：
文献类型：
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作者：
難波昇太;鳥山大樹;大河正志
