石丸和博: "無声放電を用いた珪酸エチル系リモートプラズマCVDによるシリコン酸化膜の膜質評価"第37回日本伝熱シンポジウム講演論文集. 37-III. 965-966 (2000)
石丸和博: "無声放電を用いた珪酸エチル系リモートプラズマCVDによるシリコン酸化膜の膜質評価"第37回日本伝熱シンポジウム講演論文集. 37-III. 965-966 (2000)
复制标题
Kazuhiro Ishimaru：“使用无声放电的硅酸乙酯远程等离子体 CVD 评估氧化硅膜质量”第 37 届日本传热研讨会论文集 37-966（2000 年）。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
