有機原料を用いた化学気相析出による酸炭窒化ホウ素膜の微細構造と光学特性
有機原料を用いた化学気相析出による酸炭窒化ホウ素膜の微細構造と光学特性
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有机原料化学气相沉积碳氮氧化硼薄膜的微观结构和光学性能
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
且井 宏和
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Katsui Hirokazu;Harada Katsuyoshi;Kondo Naoki;Hotta Mikinori;且井 宏和;且井 宏和
