Derivation of Film Characteristic Constants by Using Governing Parameter for Electromigration Damage in Passivated Bamboo Line
Derivation of Film Characteristic Constants by Using Governing Parameter for Electromigration Damage in Passivated Bamboo Line
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利用钝化竹线电迁移损伤控制参数推导薄膜特性常数
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M.Saka)
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M.Hasegawa;(K.Sasagawa;M.Saka)
