複数のナノバブルを用いたAlN基板の 化学機械研磨における大規模分子動力学 シミュレーション
複数のナノバブルを用いたAlN基板の 化学機械研磨における大規模分子動力学 シミュレーション
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使用多个纳米气泡对 AlN 基板进行化学机械抛光的大规模分子动力学模拟
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
久保百司
中科院分区：
文献类型：
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作者：
木村颯太;王楊;宮崎成正;大谷優介;尾澤伸樹;久保百司
