Simulation on Effects of Ultra High-Frequency Vibration for Nanomachining

Simulation on Effects of Ultra High-Frequency Vibration for Nanomachining
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超高频振动对纳米加工影响的模拟

DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
Proceedings of the 4th euspen International conference, Glasgow, UK
影响因子：
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通讯作者：
H.Eda
H.Eda
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
J.Shimizu;H.Tanaka;L.Zhou;H.Eda

文献摘要

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