Influence of Conduction-Type on Thermal Oxidation Rate in SiC (0001) with Various Doping Densities
Influence of Conduction-Type on Thermal Oxidation Rate in SiC (0001) with Various Doping Densities
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不同掺杂浓度SiC(0001)中导电类型对热氧化速率的影响
DOI：
10.4028/www.scientific.net/msf.821-823.456
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and T. Kimoto
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Kobayashi;J. Suda;and T. Kimoto
