酸化タンタル系ゲート絶縁膜が非晶質InGaZnO薄膜トランジスタに及ぼす効果
酸化タンタル系ゲート絶縁膜が非晶質InGaZnO薄膜トランジスタに及ぼす効果
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氧化钽栅极绝缘膜对非晶InGaZnO薄膜晶体管的影响
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
内山潔
中科院分区：
文献类型：
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作者：
髙橋崇典;宝賀剛;宮永良子;藤井茉美;浦岡行治;内山潔
