Evaluation of spatial resolution in laser-terahertz emission microscope for inspecting electrical faults in integrated circuits
Evaluation of spatial resolution in laser-terahertz emission microscope for inspecting electrical faults in integrated circuits
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用于检查集成电路电气故障的激光太赫兹发射显微镜的空间分辨率评估
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M.Yamashita
中科院分区：
文献类型：
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作者：
J.H.Park;M.Mase;S.Kawahito;M.Sasaki;Y.Wakamori;Y.Ohta;M.Yamashita
