超臨界CO_2を用いたCu薄膜堆積:製膜過程の可視化(2)
超臨界CO_2を用いたCu薄膜堆積:製膜過程の可視化(2)
复制标题
使用超临界CO_2沉积Cu薄膜：成膜过程的可视化（2）
DOI：
--
复制
发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
霜垣幸浩
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
百瀬 健;大久保智弘;杉山正和;霜垣幸浩
