Maskless surface patterning of AlGaInP light emitting diodes by photochemical laser interferenece etching
Maskless surface patterning of AlGaInP light emitting diodes by photochemical laser interferenece etching
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通过光化学激光干涉蚀刻对 AlGaInP 发光二极管进行无掩模表面图案化
DOI：
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发表时间：
2013
影响因子：
3.7
通讯作者：
Xiangang Xu
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Zhaobin Feng;Qian Zhang;Xiaoyu Lin;Xiangang Xu
