K.Nakahata,A.Miida,T.Kamiya,Y.Maeda,C.M.Fortmann,I.Shimizu: "Control of Orientation for Polycrystalline Silicon Thin Films Fabricated from Fluorinated Source Gas" Jpn.J.Appl.Phys.Lett.37. L1026-L1029 (1998)
K.Nakahata,A.Miida,T.Kamiya,Y.Maeda,C.M.Fortmann,I.Shimizu: "Control of Orientation for Polycrystalline Silicon Thin Films Fabricated from Fluorinated Source Gas" Jpn.J.Appl.Phys.Lett.37. L1026-L1029 (1998)
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K.Nakahata，A.Miida，T.Kamiya，Y.Maeda，C.M.Fortmann，I.Shimizu：“控制由氟化源气体制造的多晶硅薄膜的取向”Jpn.J.Appl.Phys.Lett.37。
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