光励起CVD法による酸化チタン薄膜の作製
光励起CVD法による酸化チタン薄膜の作製
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光激发CVD法制备氧化钛薄膜
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
東 章敏
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H.HASEGAWA;R.SUMI;K.KASHIWAGI and H.IMAGAWA;S.Somekawa;S. Somekawa;S. Somekawa;村尾 聡;S. Murao;村尾聡;東 章敏
