Precise Control of Growth of VCSEL Structure by using MBE in-situ Reflectance Monitor

Precise Control of Growth of VCSEL Structure by using MBE in-situ Reflectance Monitor
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利用MBE原位反射率监测仪精确控制VCSEL结构的生长

DOI:
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发表时间:
2006
期刊:
Jpn.J.Appl.Phys. 印刷中
影响因子:
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通讯作者:
T.Maruyama
T.Maruyama
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
M.Mizutani;F.Teramae;K.Takeuchi;T.Murase;S.Naritsuka;T.Maruyama

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