ガラスのフェムト秒レーザー穴あけ加工におけるダメージ形成メカニズム

ガラスのフェムト秒レーザー穴あけ加工におけるダメージ形成メカニズム
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玻璃飞秒激光打孔损伤形成机制

DOI:
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发表时间:
2020
期刊:
光アライアンス
影响因子:
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通讯作者:
杉田直彦
杉田直彦
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
伊藤佑介;杉田直彦

文献摘要

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