M.Ohtsu, K.Minami and M.Esashi: "Thin Cantilever Having an Opposed Electrode with a Narrow Gap for High Sensitive Sensors" Technical Digest of the 14th Sensor Symposium. 163-166 (1996)
M.Ohtsu, K.Minami and M.Esashi: "Thin Cantilever Having an Opposed Electrode with a Narrow Gap for High Sensitive Sensors" Technical Digest of the 14th Sensor Symposium. 163-166 (1996)
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M.Ohtsu、K.Minami 和 M.Esashi：“用于高灵敏度传感器的具有窄间隙对置电极的薄悬臂”第 14 届传感器研讨会技术文摘。
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