Fabrication of SiO:CH Particle-agglomerated Films by PECVD with Vinyl-group Organosilicon Reactants
Fabrication of SiO:CH Particle-agglomerated Films by PECVD with Vinyl-group Organosilicon Reactants
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用乙烯基有机硅反应物通过 PECVD 制备 SiO:CH 颗粒团聚薄膜
DOI：
10.2494/photopolymer.35.283
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发表时间：
2022
影响因子：
0.8
通讯作者：
Osamu Takai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yuki Nakaizumi;K. Hasegawa;Yasushi Inoue;Osamu Takai
